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<P> 美國風險企業Intermolecular發布了可大幅縮短新材料半導體工藝開發期的技術“High-Productivity Combinatorial(HPC)”。該技術將醫藥、生物學領域中使用的材料尋找法“combinatorial技術”應用到了半導體工藝開發中。據介紹在一個應用事例中,用以前的方法需要花費20年以上的材料篩選工作,此次只用5周便可完成。 </P> <P> combinatorial的含意是“組合”,該方法是以各種組合方式,對多種微量化合物進行合成,從中選出想要的化合物。此前,半導體工藝是用1種材料形成整個晶圓面,然后進行評估,因此,效率很低。此次的方法是將1枚晶圓分成多個區域,通過改變各個區域的材料制造測試芯片,以評估電氣特性。 </P> <P> 例如,該公司稱為“Tempus F-30”的裝置,是在300mm晶圓上安放28個小型容器,在各個容器中注入不同的藥液,對晶圓進行處理。這樣一來,可在1枚晶圓上同時評估28種工藝。如果是進行濺射處理,則不用小型容器,而代之以依次移動掩模,完成28種成膜。據介紹,在稱為“Tempus F-20”、“Tempus F-10”的裝置中,可以更高的密度配置小型容器,從而能同時評估更多的工藝。 </P> <P> 該公司將以(1)與用戶共同開發、(2)裝置銷售、(3)技術授權這三種方式提供此次的技術。支持濕式工藝的裝置目前已開始供貨,到2008年將投放支持濺射以及ALD的裝置。此次的技術已在“SEMICON West 2007”上發表,引起了很大反響。</P>