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東芝日前開發(fā)出了導通電阻僅4Ωmm2的功率MOSFET產品“TK15A60S”,導通電阻比原產品降低了約60%。柵-漏極間的寄生電容為27nC,作為功率MOSFET開關特性指標的Ron×Qgd(導通電阻與柵-漏極間寄生電容的乘積)比該公司原產品降低約1/4。Ron×Qgd為“業(yè)界最低”(東芝)。主要面向電視機等家電類AC適配器等領域。耐壓600V。源-漏極間的額定電流為15A。閾值電壓為+3.0V~+5.0V。2005年3月23日開始供應樣品,計劃從4月開始以月產100萬個的規(guī)模投入量產。 <BR> <BR> 為了降低導通電阻與寄生電容,此次采用了名為“Super Junction結構”的豎型晶體管結構。作為普通的豎型晶體管結構,為了降低導通電阻而提高n型雜質濃度后,耐壓便會隨之下降。而Super Junction結構的耐壓本來就可以設計得很高,即便提高雜質濃度,也能夠在不犧牲耐壓的情況下降低導通電阻。采用Super Junction結構的功率MOSFET,德國英飛凌科技等歐美廠商已經開始投產。此次,東芝在業(yè)界首次采用一項在元件中設計深溝道(deep trench)的溝道技術,形成了Super Junction結構。采用深溝道技術,可以簡化Super Junction結構的形成工藝。