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由西安交通大學承擔的國家863計劃項目耐高溫壓力傳感器有效解決了我國石油化工、航空航天、汽車工業等領域高溫環境下壓力測量的技術難題，具有很高的推廣和使用價值。
據西安交大精密工程研究所教授蔣莊德介紹，由他率領的課題組經過4年研究，研制成功的硅隔離耐高溫微型壓力傳感器，能在－30℃-250℃環境下完成1000MPa以下任意量程范圍的壓力測量，能承受2000℃瞬時高溫沖擊。
由教育部近日組織的科技成果鑒定認為，該項目屬國內首創，傳感器性能指標和總體水平達到國際先進水平，在敏感元件集成設計和傳感器結構設計等方面達到國際領先水平。
專家認為，該產品采用高能氧離子注入技術制作二氧化硅隔離層，將檢測電路與基底隔開，避免了高溫環境下檢測電路與基底之間的漏電問題，解決了常規硅壓力傳感器120℃失效的技術難題；該產品將被測高溫流體與硅敏感元件相隔離，避免了被測流體的瞬時高溫沖擊，解決了2000℃瞬時高溫沖擊的難題；采用鈦－鉑－金耐高溫布線系統，解決了高溫等惡劣環境下傳感器引線的技術難題。
目前，該傳感器經航空618研究所、航天210所及西安宏邦石油儀器有限責任公司等單位試用表明，產品成本低、性能穩定可靠、工藝兼容性好、體積小、靈敏度高，不僅在靜態精度、耐高溫工作能力及動態響應能力等技術指標上可與國外同類先進產品媲美，而且在耐瞬時高溫沖擊、工作量程等性能指標上有獨到之處，有效解決了長期困擾企業的高溫環境下壓力測量的難題。 |
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